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    “安全质量双保障”

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【固定型】有害气体净化装置

  • 收集在主要设备及清洗加工室作业中发生的有毒气体,使其从排气管道排出,防止工作室环境污染的装置

移动式局部排气装置

  • 主要设备工艺室进行清洗作业时发生的,收集有毒气体烟雾,从排吸口排放,防止Fab内环境污染。

【固定型】有害气体净化装置

  • 主要设备工艺室进行清洗作业时发生的,收集有毒气体烟雾,从排吸口排放,防止作业场内环境污染。

【移动型】通风柜过滤箱

  • 在研究室、实验室内进行实验时,排泄对人体有害的气体和有害粒子,以营造安全、舒适实验环境为目的使用的设备。

【移动型】配件清洗装置

  • 装备配件清洗及实验作业过程中发生的粉尘和有害因子,通过手套箱内部作业,防止污染源扩散,维持作业及实验环境而设计的产品

【移动型】风机流量系统

  • 半导体实验及药品处理过程中发生的有害气体,挥发性有机化合物(VOC’s),恶臭,烟雾等在空气中扩散前有效排放
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